应用
MEMS 器件表征 和测试
使用一整套专业仪器确保达到最佳性能。
FAQ
是的。多仪器并行模式允许您在一个设备上使用波形发生器生成激励信号，并使用锁相放大器,示波器或相位表进行响应测量。这使得它非常适合表征 MEMS 谐振器、执行 Q 因子测量或在惯性传感应用中闭环反馈控制，而无需像传统方案将单独的仪器物理连接在一起。
Moku 在其模拟输入采用 ADC 混合专利技术，以最大限度地提高底噪表现，并具有可调耦合、阻抗和衰减设置。这可以精确检测压电或电容式 MEMS 器件常见的小电压或电流输出。对于特别微弱的信号，锁相放大器可以提取远低于本底噪声的幅度和相位信息，使其成为 MEMS 位移或运动传感的有力工具。
是的。Moku Python API 让您自动化测量过程的每个步骤，从激励生成和参数扫描到数据记录和结果分析。您可以将其与现有的软件堆栈或生产平台集成，无需底层驱动程序，从而实现可重复、可编写脚本的 MEMS 验证测试。